在半导体制造领域,材料存储环境直接关系到电子元器件的良率和产品可靠性。在此背景下,汇博机器人集团自主研发智能氮气仓系统,通过多项创新技术突破,为半导体材料提供全生命周期存储解决方案,引发行业高度关注。
智能氮气仓系统,为半导体材料提供稳定的存储环境。氮气作为一种化学性质稳定的惰性气体,能够避免半导体材料在存储过程中发生氧化反应或受到静电干扰,从而确保材料性能稳定,延长使用寿命,为半导体制造奠定坚实基础。
一、多维技术驱动产业焕新
1、精准调控氮气浓度
智能氮气仓系统运用浓度调控技术,能够将仓内氮气浓度精准控制在95%以上,使半导体材料可以在近乎纯氮的理想环境中“安然休眠”,极大降低氧化风险,为材料保存提供有力保障。
2、智能管理环境参数
氮气仓配备环境监测与控制系统,24小时不间断地对温度、湿度等关键环境参数进行实时监测,一旦监测到数据出现细微偏差,系统将迅速启动自动调节机制,确保仓内环境始终保持在精准设定的理想状态,为半导体材料营造最为适宜的存储条件。
3、自动化存取提升效率
通过集成工业六轴机器人、AGV,结合WMS智能仓储管理系统,可自动完成物料的入库、出库及库存管理操作。通过智能调度算法,大幅提升物料流转效率,减少人工干预,降低操作误差,显著提高仓储管理的精准度与效率。
4、强化防静电与保障洁净度
针对半导体制造对环境的严苛要求,智能氮气仓采用防静电涂层与高标准洁净度设计。仓内环境洁净度达到千级以上,有效防止静电积聚与微粒污染,为半导体材料提供无尘、无静电的存储环境,保障产品质量与生产可靠性。
二、创新势能锻造竞争壁垒
1、高效快速充氮技术
通过优化充气策略与布局多个充气口,智能氮气仓实现了快速充氮功能。该技术大幅缩短氮气填充时间,提高设备使用效率,满足半导体行业对快速存储的需求。
2、全方位密封结构
采用全仓密闭式设计,从密封围板到感应门均进行严格密封处理,形成全方位防护体系,有效降低氮气损耗,维持仓内环境稳定,同时提高设备运行的经济性。
3、二级缓冲仓设计
为减少出入货口对仓内环境的影响,智能氮气仓设置二级缓冲仓。该设计能够有效隔离外部空气,防止温湿度波动与氮气浓度变化,确保仓内环境始终保持最佳状态。
4、微正压环境维持
通过氧气自动补充与压力监测,智能氮气仓可维持仓内微正压状态,进一步提升仓内环境的纯净度,为半导体材料提供高品质存储环境。
图:汇博机器人集团智能氮气仓。
汇博机器人集团智能氮气仓已应用于华天科技等知名半导体企业,取得显著成效,在提高存储效率、保障物料质量、降低运营成本等方面表现卓越。通过与企业的ERP/MES系统无缝对接,实现生产与仓储环节的全流程自动化与信息化管理,有力推动企业数智化转型。
随着半导体产业的蓬勃发展,对存储技术的要求不断提高。汇博机器人集团智能氮气仓,有效解决了氮气浓度控制、环境监测与控制、自动化存取与库存管理、防静电与洁净度设计等关键技术难题,为产业发展提供有力支撑。