半导体 | 半导体上芯智能生产系统_智能工厂_广东汇博机器人技术有限公司

一、项目背景

为客户建设了半导体上芯智能生产系统，通过高精度侧叉式搬运机器人、多层级洁净型AGV系统及智能调度中控平台等装备技术的应用，实现了物料精准配送、工装智能搬运等工序的自动化作业，实现全流程信息化管理，提高晶圆封装效率及设备运行稳定性。

二、产品对象

上芯烘烤载具与上芯物料（吸管，点胶头，顶针，胶管等）

三、项目效益

该系统通过调度系统精准分配，实现晶圆载具、胶体耗材等物料的批次级全流程可追溯性；有效提高了单机生产效率。

四、应用优势

(1) 上芯物料自动配送，提高人效及生产准确性能：上芯设备系统提前叫料，智能多仓格配送AGV自动配送，满足多站点低频的配送特点需求，并确保及时送达。

(2) 烘箱自动对接，提高利用率：通过烘箱改造、料架改造，实现烘箱的自动开关门及物料的整体化进出烘箱，进而也提高了烘箱的有效烘烤作业时间，提高设备利用率。

(3) 定制化结构设计，提高烘箱内部空间利用率：结合烘箱尺寸、产品尺寸、夹具结构等，进行料架、夹具、AGV货叉的系统化设计，提高烘箱有效容积率。